设备服务

当地工程服务

DSI公司拥有一支专责的当地工程服务师队伍。他们专业经验丰富,在半导体行业的所有战略地点都设有办事处。DSI的工程师经过内部持续的培训,掌握最先进的技术知识,为用户提供最佳的服务。

设备翻新

DSI公司为晶圆厂提供最先进的量测设备的完全翻新服务。我们的工程师和技术员受过专门培训,拥有极强的专业技能,能够对设备进行全面检验,使翻新后的设备满足最高要求。DSI已向全球主要用户供应翻新设备,获得用户的一贯好评。

DSI公司经营的主要设备包括:
明视野检测:KLA 2132、2135、2138、2139、2350、2365…
暗视野检测:KLA AIT I、KLA AIT II…
表面颗粒检测(SurfScan):KLA 6220、6420、SP1、SP1 Tbi…
四点探针量测:KLA RS 55、RS 75、RS 100…
剖面机P系列…
HRP 220 HRP 240 HRP 340

其它OEM设备包括Vistec、日立、Thermawave、应用材料公司(AMAT)
请与我们的办事处联系,以获得以下方面的野外现场工程服务:

设备启动
疑难问题解答
现场维修
应用

DSI公司提供一切量测平台的专责野外工程服务。DSI还通过合作伙伴提供其它制程领域的技术服务,包括离子注入和扩散领域。