設備サービス

フィールド サービス エンジニアリング

DSIは、半導体産業のあらゆる拠点に経験豊富なフィールド サービス エンジニア（FSE）専門チームを配置しています。技術陣は、社内開発トレーニング プログラムを受け、お客様のお役に立つ最先端の知識を身につけます。

機器再生

DSI は、最先端の測量法機器をウェーハ製造工場で完璧に再生します。弊社の優秀で熟練した技術陣は、機器をあらゆる角度から徹底的に検証し、どんな厳しい条件にも対応します。世界中のお客様に再生機器を提供し、変わらずご愛顧をいただいております。

取り扱い主要機器：
明視野式：KLA 2132, 2135, 2138, 2139, 2350, 2365...
暗視野式：KLA AIT I, KLA AIT II...
サーフスキャン：KLA 6220, 6420, SP1, SP1 Tbi...
４探針プローブ：KLA RS 55, RS 75, RS 100...
Profiler Pシリーズ...
HRP 220 HRP 240 HRP 340

その他OEM製品、Vistec、日立、Thermawave、Applied Materials (AMAT)社製品もサポート致します。
以下の項目に関するFSEのご要望はこちらまで：
設備立ち上げ
トラブルシューティング
現地メンテナンス
アプリケーション

DSIフィールド サービス エンジニアリング チームがあらゆる測量法プラットホームをサポート致します。また、弊社ネットワークの協力で、イオン注入、拡散といったプロセス分野もサポートします。